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島津EPMA-8050G場發(fā)射電子探針

產(chǎn)品型號: 更新時間: 2019-11-22
島津EPMA-8050G場發(fā)射電子探針 從SEM觀察條件到1μA量級,在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場發(fā)射電子光學系統(tǒng)。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,電子

[性能特點]

● 的空間分辨率

電子探針可達到的級別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV),分析條件下的二次電子分辨率。

(加速電壓10kV時20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

● 大束流超高靈敏度分析

實現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流。可超高靈敏度進行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率??赏瑫r搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。

● 全部分析操作簡單易懂

全部操作僅靠一個鼠標就可進行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導航模式,自動指引直至生成報告。

 

◎實現(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術

 

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大,輸出更高。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

 

2 EPMA電子光學系統(tǒng)

電子光學系統(tǒng),聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,交叉點不是靠聚光透鏡

形成,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨立構成與控制方式的可

變光闌透鏡來形成交叉點的(:第4595778號)。簡單的透鏡結

構,既能獲得大束流,同時全部電流條件下設定合適的打開角度,將電子

束壓縮到細。當然是不需要更換物鏡光闌的。

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2

級差動排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小,以控制流入中

間室的氣體,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線譜儀

島津場發(fā)射電子探針多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。

52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,又可減小樣品對X射線

的吸收,實現(xiàn)高靈敏度的分析。

 

 

 

[應用舉例]

 

1.   島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G檢測:無鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布

對無鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區(qū)域進行面分析的數(shù)據(jù)。(加速電壓:10kV;照射電流:20nA)
Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像(COMPO)的顆粒形狀*。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨(紅色虛線圈出)。同時可確認Cu顆粒的存在(黃色虛線圈出)。

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